ICP光譜儀是當前光譜分析中迅速靈敏的一種儀器。光譜儀是上述各種儀器的總稱。雖然各種光譜儀的形式各異，但均有三大主要部分：一是激光光譜的光源；二是光譜儀系統，使不同波長的光聚焦在儀器上的特定位置；三是用置于焦點上的探測器來量光的強度。近代的光譜儀大都采用微型計算機處理實驗結果。
在使用ICP光譜儀的過程中，經常遇到的問題就是點不著火，點不著火的原因主要有哪些呢？
1.連接管道問題
檢查光譜儀的炬管霧化室等所有管路連接是否正確，接品處是否漏氣，微小的空氣進入等子炬可能導致點火失敗或者正使用中的等離子體熄滅，或者分析結果差。
2.氬氣吹掃
如果炬管、霧化室中的空氣還沒有被氬氣*吹掃出去，*點火時，可能不能點燃等離子體。第二次點火可能會點燃。另外，霧化氣流量在點火之前的必須為零。
3.有機蒸氣
測完有機樣品之后，炬管和霧化室內可能殘留一些有機蒸氣。這些有機蒸氣可能會影響到點火。必要時清洗霧化室。
4.低沸點有機樣品
需要較高的功率運行維持等離子體，比如甲醇。
5.等離子氣路不通暢
如果ICP光譜儀中氣路扭曲變形，對氬氣的流動產生阻礙，也影響點火。
6.廢液管路堵塞
如果廢液管路堵塞，霧化室中的廢液將不能有效排出，導致等離子體熄滅或者不能點燃。排液良好的標志是能夠看到廢液管路中有一段段的氣泡隨廢液流動，否則請調節廢液管壓力或更換。
7.炬管未裝好
炬管沒有安裝好或漏氣都會影響點火。
8.高頻線圈與矩管不同心，循環水溫度設得太低。
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